晶园研磨机tsk机器

2020年6月22日,中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程有限公司(光华微电子)宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。 光华微电子院长春光学精密机械与物理研究所获悉,该所旗下长春光华微电子设备工程有限公司(以下简称"光华微电子")成功研制出国内首台商用12英寸全自动晶圆

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